ヒ化アルミニウムガリウム

ヒ化アルミニウムガリウム(AlxGa1-xAs)は、GaAsとほぼ同じ格子定数を持つ半導体材料。

アルミニウムガリウムヒ素とも。

概要

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AlxGa1-xAsGaAs  E-kx01GaAsAlAs 

AlGaAsAlxGa1-xAs1.42eVGaAs2.16 eVAlAs x <0.42.9x = 13.5x = 0VCSELRCLED使

GaAs使 AlGaAsQWIPGaAs7001100 nm使

安全性と毒性の側面

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AlGaAsの毒物学は完全には調査されていない。粉塵は皮膚、目、肺に刺激を与える。アルミニウムガリウムヒ素源(トリメチルガリウムやアルシンなど)の環境、健康、安全面、および標準的なMOVPE源の産業衛生モニタリング研究がレビューで報告されている。

参考文献

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D. V.; Goyette, R. J.; DiCarlo, R. L. Jr.; Dripps, G. (2004).

「化合物半導体のMOVPE成長に使用されるソースの環境、健康、安全の問題」。クリスタルグロースジャーナル  272(1–4):816–821

関連項目

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外部リンク

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http://www.ioffe.ru/SVA/NSM/Semicond/AlGaAs/index.html

https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0022024804011121?via%3Dihub