化学辞典 第2版 「X線分光分析」の解説
X線分光分析
エックスセンブンコウブンセキ
X-ray spectroscopic analysis
物質に高速電子を照射して発生するX線や，対陰極より発生した一次X線を物質に照射して，これより生じる二次特性X線を種々の結晶格子を用いて分光し，得られたX線スペクトルより物質構成元素を分析する方法．この分析は次の三つに分類される．
(1)X線発光分光分析，
(2)蛍光X線分析，
(3)X線マイクロアナライザー．
(1)は試料に加速電子またはX線を照射し，発生するX線を分光器により，波長分離してその波長から元素を分析する．(2)は一次X線を試料に照射し，二次的に発生した蛍光X線を回折結晶により分光し，得られた特性X線の波長より元素を分析する．(3)は原理的には(2)に類似するが，マイクロアナライザーでは1 μm 以下に絞られた電子線で試料を照射し，発生する特性X線をX線スペクトロメーターによって分光し，その波長から元素を分析する．
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報